ASML plant, weiterhin DUV-Werkzeuge für „reife und mittelkritische Knoten“ nach China zu liefern.
Während die US-Regierung und ihre Verbündeten die Exportbestimmungen für chinesische Unternehmen verschärfen, bleibt ASML optimistisch und erwartet, dass die Zahl der installierten DUV-Werkzeuge in der Volksrepublik in den kommenden Jahren steigen wird, berichtet DigiTimes. Inzwischen räumt das Unternehmen ein, dass die meisten der Deep-Ultraviolet (DUV)-Lithographieanlagen, die es an chinesische Kunden liefert, für „reife und mittelkritische“ Knoten ausgelegt sind.
ASML will bis 2025 600 DUV-Chipmaking-Tools in China installieren
„Die Gesamtzahl der in China installierten ASML Deep Ultraviolet (DUV)-Lithographie- und Metrologiemaschinen liegt bei etwa 1.400“, sagte Shen Bo, ASMLs China Country Manager, in einem Interview mit TMTPost. „Bis Ende 2025 wird die Zahl der installierten DUV-Anlagen in China voraussichtlich 600 erreichen.“
ASML hat seine Lieferungen nach China im dritten Quartal 2023 intensiviert. Infolgedessen entfielen 46 % des Netto-Systemumsatzes des Unternehmens in Höhe von 5,308 Mrd. € (5,688 Mrd. $) im Quartal auf chinesische Unternehmen, gegenüber 24 % im zweiten Quartal. Insgesamt beschafften chinesische Kunden Wafer-Fertigungsanlagen im Wert von 2,6 Mrd. $, darunter DUV-Litho-Tools und Metrologiesysteme. Die meisten davon sind für ausgereifte und nachlaufende Prozesstechnologien wie 28nm, 45nm, 65nm, 90nm und dicker bestimmt.
„Wir liefern Lithografiesysteme für ausgereifte und mittelkritische Knoten nach China und halten dabei natürlich die Exportbestimmungen ein“, sagte Peter Wennink, Vorstandsvorsitzender von ASML, bei der Bilanzpressekonferenz des Unternehmens Ende Oktober.
Der ASML-Chef räumte ein, dass das Unternehmen in den letzten Quartalen nicht genügend Werkzeuge an seine chinesischen Kunden geliefert hat, da es versuchte, die Nachfrage anderer Kunden zu erfüllen.
„Bei den Systemen, die in diesem Jahr an chinesische Kunden geliefert werden, wurde der Großteil der Aufträge für 2022 gebucht“, sagte Wennink. „In den letzten zwei Jahren lag die Deckungsrate für unsere chinesischen Kunden bei deutlich unter 50 Prozent. Die chinesischen Kunden erhielten also tatsächlich eine viel geringere Anzahl von Systemen als sie bestellt hatten. Das lag daran, dass die weltweite Nachfrage nach unseren Systemen das Angebot deutlich überstieg. Da sich die Nachfrage anderer Kunden derzeit zeitlich verschiebt, haben wir jetzt die Möglichkeit, diese Aufträge an unsere chinesischen Kunden zu erfüllen.“
Wir sind uns ziemlich sicher, dass die Bestellungen chinesischer Unternehmen im Jahr 2022 Lithografieanlagen für die Herstellung von Chips der 14nm/16nm-Klasse und vielleicht sogar noch fortschrittlicheren Chips umfassten. In der Zwischenzeit wissen wir nicht, welchen Anteil diese fortschrittlichen Systeme an den Lithographie-Werkzeugen ausmachten und ob die Bestellungen erfüllt wurden, bevor die Niederlande die Lieferung solcher Werkzeuge nach China am 1. September einschränkten.
